美國INTEK流量計利用電阻熱流量測量采用2個電阻溫度檢測器(RTDs)測量流量。其中1個RTD測量流體溫度，另一個RTD測量由流動液體來降溫的低電壓加熱器溫度。加熱與未加熱的RTDs間的溫差提供了主要的流量信號。

5ml/minINTEK測量氟化氫強腐蝕液體流量計, 不介入式流量測量 ,精確小流量測量,無活動部件. 可重復流量測量, 沒有或縮短的直管段,對低氣體流速敏感, 具有本質安全型防爆。精確的小流量測量，低壓降。非入侵式流量傳感器，低流動點設定，體積小 。基本免維護，防震動、防振顫，長期可靠性。測量不受液體中夾帶固體顆粒的影響 ，直通管傳感器設計，無機械活動部件.

5ml/minINTEK測量氟化氫強腐蝕液體流量計參數：

210R-IDT-TUL1/8(HC)-HART-24V-ISBVRSP

介質：濃度為70%氟化氫液體

客戶需要的流量范圍：20-120cc/min

標定的流量范圍：20-120cc/min

zui高工作溫度：60(攝氏度)

操作溫度：-18-+60攝氏度

zui大壓力：1.8Mpa

操作壓力：待定

粘度值：0.65cp

比重：1210 kg/m^3

傳感器類型：測量管式

接液材質：Hastelloy C276

外殼材質：PVC

測量管接頭：1/8-inch

標定單位：cc/min

供電：24 V DC

輸出：HART

顯示器：NEMA 4 12x10x5英寸帶顯示屏